設(shè)備主要技術(shù)指標:
1. 用途:主要用于8寸晶圓高溫干氧濕氧、退火工藝。
2. 工作溫度范圍:700-1250 ℃
3. 恒溫區(qū)長度: >600mm 滿足25片 石英舟
4. 工作溫度和精度: 700-1250 ℃ ± 1 ℃
5. 氣路系統(tǒng):三路氣體系統(tǒng),采用進口MKS質(zhì)量流量計、氣動閥、等進口部件
6.氣路安全性: 單向閥、過濾器配置齊全
7. 溫度控制系統(tǒng):PLC+觸摸屏可編程控制方式,自動加手動可方便切換,溫控系統(tǒng)采用進口溫控儀,溫度、流按工藝自動調(diào)節(jié)
8. 報警及保護: 氣體流量偏差報警、溫度偏差報警、極限超溫報警、斷偶保護
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