設(shè)備主要技術(shù)指標：

1. 用途：主要用于8寸晶圓高溫干氧濕氧、退火工藝。

2. 工作溫度范圍：700-1250 ℃

3. 恒溫區(qū)長度： ＞600mm  滿足25片 石英舟

4. 工作溫度和精度： 700-1250 ℃ ± 1 ℃

5. 氣路系統(tǒng)：三路氣體系統(tǒng)，采用進口MKS質(zhì)量流量計、氣動閥、等進口部件

6.氣路安全性： 單向閥、過濾器配置齊全

7. 溫度控制系統(tǒng)：PLC+觸摸屏可編程控制方式，自動加手動可方便切換，溫控系統(tǒng)采用進口溫控儀，溫度、流按工藝自動調(diào)節(jié)

8. 報警及保護： 氣體流量偏差報警、溫度偏差報警、極限超溫報警、斷偶保護