1.1、工作溫度：400-1300℃
1.2、恒溫區(qū)長度及精度： 300mm /±0.5℃（可選）
1.3、爐管數(shù)：一、二、三、四管（可選）
1.4、適應(yīng)硅片尺寸： 6寸及向下兼容
1.5、送取片方式：自動或手動（可選）
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硅材料擴(kuò)散爐
上架時間：2024-11-12
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產(chǎn)品類型：專業(yè)用于半導(dǎo)體6寸及以下硅片的高溫擴(kuò)散工藝
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